Laser beam machining apparatus and laser beam machining method



【課題】 被加工物の端部に切り欠きを設けたり冷却する必要がなく、簡単に精度良くスクライブラインを形成することができるレーザ加工装置およびレーザ加工方法を提供する。 【解決手段】 板体状の被加工物11にレーザ光20を照射することにより被加工物11にスクライブラインを形成する。対物レンズ7および対物レンズ移動機構8により、レーザ光20の焦点位置を、被加工物11の厚さ方向内部または外部に合わせてレーザ光20を被加工物11に照射する。レーザ光20の照射により被加工物11に局所的な蒸散を起こし、従来のような冷却あるいは外力を加える必要なく、レーザ光20のみにより正確に精度よくスクライブラインが形成される。 【選択図】 図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser beam machining apparatus which does not need to cool a workpiece or to form a notch at the end of the workpiece and can form a scribe line simply and precisely, and a laser beam machining method. SOLUTION: The scribe line is formed in the plate-like workpiece 11 by irradiating the workpiece with laser beams 20. By an objective lens 7 and an objective lens transfer mechanism 8, the focal position of the laser beams 20 is focused on the inside or outside in the thickness direction of the workpiece 11, and the workpiece 11 is irradiated with the laser beams 20. Local evaporation occurs in the workpiece 11 by the irradiation with the laser beams 20 to make conventional application of cooling or external force unnecessary. The scribe line is formed exactly and precisely by the laser beams 20 alone. COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI




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